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柱面鏡計算全息圖

  • 產(chǎn)品型號:
    2英寸
    3英寸
    4英寸
    6英寸
  • 外形尺寸(mm):
    50.8*50.8
    76.2*76.2
    152.4*152.4
    152.4*152.4
  • 主區(qū)域形狀:
    方形
    方形
    圓形
    圓形
  • 對準(zhǔn)區(qū)尺寸(mm):
    45*45
    67*67
    ∅102
    ∅148
  • 適配干涉儀尺寸:
    4英寸/6英寸
    4英寸/6英寸
    4英寸/6英寸
    4英寸/6英寸
  • 適配干涉儀類型:
     
     
     
     
  • F#:
    0.7/1/0/1/5/2.0/3.0/4.0/5.0/6.0/10.0
  • 參考光:
    平行光
  • 工作波長:
    常規(guī)632.8nm,可以根據(jù)客戶波長定制
  • 精度:
    RMS優(yōu)于6nm
  • CGH傾角:
    關(guān)于X的+1度
  • 結(jié)構(gòu)配件:
    六維調(diào)整架+轉(zhuǎn)接框
    六維調(diào)整架

      柱面計算全息圖通過表面衍射光柵把平面波轉(zhuǎn)化為柱面波,從而和待測柱面進行匹配,實現(xiàn)零位干涉檢測。相比柱面樣板,其檢測精度更高,通用性更好;相比輪廓檢測,其檢測速度更快,不損傷鏡片表面,是柱面加工廠商的好幫手,圖1為柱面計算全息的工作原理圖

 

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