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柱面鏡計(jì)算全息圖

型號(hào)

2英寸

3英寸

4英寸

6英寸

外形尺寸(mm)

50.8*50.8

76.2*76.2

152.4*152.4

152.4*152.4

主區(qū)域形狀

方形

方形

圓形

圓形

主區(qū)域尺寸(mm)

38*38

60*60

∅95

∅140

對(duì)準(zhǔn)區(qū)尺寸(mm)

45*45

67*67

∅102

∅148

適配干涉儀尺寸

4英寸/6英寸

4英寸/6英寸

4英寸/6英寸

4英寸/6英寸

適配干涉儀類(lèi)型

 

F#

0.7/1/0/1/5/2.0/3.0/4.0/5.0/6.0/10.0

參考光

平行光

工作波長(zhǎng)

常規(guī)632.8nm,可以根據(jù)客戶(hù)波長(zhǎng)定制

精度

RMS優(yōu)于6nm

CGH傾角

關(guān)于X的+1度

結(jié)構(gòu)配件

六維調(diào)整架+轉(zhuǎn)接框

六維調(diào)整架

 

      柱面計(jì)算全息圖通過(guò)表面衍射光柵把平面波轉(zhuǎn)化為柱面波,從而和待測(cè)柱面進(jìn)行匹配,實(shí)現(xiàn)零位干涉檢測(cè)。相比柱面樣板,其檢測(cè)精度更高,通用性更好;相比輪廓檢測(cè),其檢測(cè)速度更快,不損傷鏡片表面,是柱面加工廠商的好幫手,圖1為柱面計(jì)算全息的工作原理圖


 

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